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          產品資料

          上海金頓電爐半導體快速退火爐 甲酸氣化爐

          如果您對該產品感興趣的話,可以
          產品名稱: 上海金頓電爐半導體快速退火爐 甲酸氣化爐
          產品型號: SLK400-50
          產品展商: 上海金頓
          產品文檔: 無相關文檔

          簡單介紹

          半導體快速退火爐以上等加熱模塊為加熱元件,采用雙層殼體結構和31段程序控溫系統,移相觸發、可控硅控制,半導體退火爐爐膛采用不銹鋼材料,退火爐雙層爐殼間配有風冷系統,能快速升降溫,采用外殼整體密封,蓋板用硅膠泥密封,爐門配有水冷系統并配有硅膠墊,,用浮子流量計控制進氣流量、該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點,是高校、科研院所、工礦、電子企業做高溫釬焊、氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火、熔化﹑分析而研制的專用理想設備。


          上海金頓電爐半導體快速退火爐 甲酸氣化爐  的詳細介紹

          (半導體)快速退火爐技術規格要求及參數

           

          項目

          名稱

          內容

          備注

          產品名稱

          (半導體)快速退火爐

           

          內膽尺寸

          530*430*220mm

          外形尺寸(約)

          920  *900  * 740   mm

          溫度范圍

          室溫 MERGEFIELD "溫度范圍" +450可調(根據加熱板實際熱承受能力而定)

          加熱方式

          采用鑄鋁加熱板,

          溫度波動度

          ±1

          溫度均勻度

          測溫探頭的精度為±0.5℃,控溫點在加熱板上部對角兩點及測溫的側面一點, (恒溫空載狀態下)(加熱板的溫度均勻性±1℃)

          升溫速率

          ≤8/min .空載時升溫速度:室溫到200℃在8分鐘內到達;

          外殼溫度

          溫升不超過環境+25℃,門周邊除外。

          電源

          三相五線制,380V,50HZ

           

          總功率

          20KW,使用功率16KW

           

                   

          外殼材料

          外層A32.0冷板,

           

          內膽材料

          采用5mmSUS304不銹鋼板制作

           

          保溫材料

          1.    采用1400型纖維毯保溫

          2.    具有不可燃燒,隔熱性強等特點,厚度為60mm

           

          煙氣隔離罩

          爐體左右后三個面用亞克力板圍起來,爐體正面做對開式門,四周用玻璃膠密封,開爐時可讓煙氣有效排除。

           

          密封材料

          密封條采用直徑10mm發泡硅膠條制作,可耐溫不變形,門與內膽采用單層密封形式,加強密封效果

           

          配兩個圓形觀察窗,爐門密封圈不易老化和燒壞,真空門裝有電腦控制氣缸開啟和關閉(閉合傳感器,確定門關閉)可90度運動

           

           

          觀察窗

          采用圓形觀察窗口,觀察窗直徑80,生產過程一目了然

           

          控制系統

          加熱部分

          采用導熱板加熱,帶水冷急速冷卻

           

          冷卻部分

          爐口方管及加熱板

           

          電箱

          電箱與烘箱分離安裝

           

          抽真空

          箱體抽氣口加裝電磁閥閥(帶過濾器)直徑100*180mm

           

          氮氣部分

          氮氣,需加電磁閥控制,氣管管徑直徑8mm,設備側面設有氮氣接口和甲酸接口,并用一個三通的常閉電磁閥,其后再接一個電磁閥,以控制進入腔體的氣體量,電磁閥使用方向按客戶要求進出氣方向安裝。

           

           溫控部分

          1.    采用微電腦智能型溫控器

           

          控制器

          采用臺灣琦勝HM-782S觸摸屏,精度高,穩定性好,設有手動,自動,工業設定等功能,配日本三菱PLC控制器(FX2N-48MR,與臺灣琦勝(型號PLL-2010-002A)可編程控制器通訊控制,能控制顯示3個溫區并能階梯式程序升溫,預留3個控溫探頭

          流程:合門鎖---抽真空---充氮氣---自動加熱---溫度曲線---高溫抽真空---真空泵停止---冷卻降溫---停止充氮---電子門鎖---取料完成(供方負責加工,需方負責編程設計)

           

          溫度傳感器

          擱板兩個感溫探頭預留在加熱板頂部對角處,加熱板側面配一個超溫的感溫探頭,K型探頭PID溫度控制器需使用3個臺灣琦勝溫控器,2個程序表,1個顯示表

           

          自動恒溫

          1.    溫控器可根據用戶設定的溫度值,采用PID自動計算輸出功率的大小,

          2.    越接近溫度設定值時,輸出功率越小,以達到恒溫控制的目的,并可節能省電

           

          真空度

          采用數顯ZDZ-52T/E 電阻真空計,傳感器采用成都睿寶品牌,10分鐘內抽至20pa,20分鐘內漏率80pa。

           

          電磁閥

          (上海西馬特)電磁閥,1:真空擋板閥GDQ-7/KF16KF,2:截止閥(氮氣充甲酸、水、空氣GDC-A3:壓差式充氣閥CYC-JQ

           

          超溫報警

          當實際檢測溫度超過超溫保護溫控器設定值時,自動切斷加熱電源,起到雙重保護功能

           

           

          接地保護

          結構件安全接地保護。

           

          電源缺相、相序保護

          配有相序保護器

           

          環境溫度

          - MERGEFIELD "環境溫度" 5-40

           

          相對濕度

          ≤85%RH

           

          電源

          AC380V±10%,50Hz

           

           

          免費進行技術培訓。

           

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